知青回城搞科研[八零] 第47节 (第4/7页)

任务。

    李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授，因为姜文泽教授接触式这里人手充足，而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段，需要的人手不少，像是其他两人就被分到了投影式实验室。

    说来，她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场，就是不知道后面结果如何。

    人手是真的缺，她刚到实验室，就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。

    可以说，除了光源之外，光刻机的研究当中，镜头就是其最核心的部分，包括物镜和曝光台。

    李筠被分到的是物镜观察，她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光，通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后，透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。

    物镜可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。

    对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。

    唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。

    负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。

    终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。

    她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手