知青回城搞科研[八零] 第45节 (第2/7页)

g-line和i-line紫外光源之后，这两种光源就一直作为光刻机所采用的光源。但是随着时代的变化，我们逐渐发现这两种光源所制作的晶圆，远远不能达到现在的需求。

    为此，我们姜教授团队开始了寻找深紫外光源的探索。前期，因为汞灯能够产生更短的i-line，我们也是继续在这方面深入研究，但很快我们就发现，这几乎已经达到了它的极限。

    之后，我们联想到激发态的分子在向基态跃迁时，会产生……”

    李筠用着不紧不慢地语气，将他们这半年来的研究过程娓娓道来。

    虽然大家都没从语句中听到惊险、无奈的词句，可是在场的每一个人都很清楚，没什么研究会是如此简单的，其中的困难三言两语更是说不清楚。

    但就是这样的话语，听着更让人舒服，也更让人心疼。

    而大家也逐渐明白这次会议的主题，那就是他们终于发现了比365nm i-line波长更短的193nm的arf准分子激光。

    这对于众人而言，简直就是难以置信的重大发现。

    因为光源的波长越短，光刻机的分辨率就越小，分辨率越小，代表着清晰投影出来的图像越小。

    在同样大小的一块晶圆上，投影图像越小，那么能在里面刻出的内容就越多，存储的信息就越多。

    更震惊的是，这只是一个大一学生在看到分子跃迁时产生的突发联想。

    众人不由得在内心感叹后生可畏，岑部长更是将自己的目光频频投向李筠身上，感叹对方的才思敏捷。

    同时也松了一口气，这个重大发现意味着，本轮之后，微电子研究所的资金还可以再下拨不少，希望足够